Cập nhật ISO 14644-3:2019 so với ISO 14644-3:2005

Ấn bản thứ hai của ISO 14644-3 hủy bỏ và thay thế ấn bản đầu tiên (ISO 14644-3: 2005), đã được sửa đổi về mặt kỹ thuật. Những thay đổi chính so với phiên bản trước như sau:

– Mục B.7 (nội dung về kiểm tra rò rỉ màng lọc) đã được đơn giản hóa và sửa chữa để giải quyết những lo ngại về tính phức tạp của nó và các sai sót được lưu ý;

– Hướng dẫn liên quan đến phân loại cấp sạch của không khí theo nồng độ hạt trong không khí đã được chuyển sang 14644-1.

– Nội dung của toàn bộ tài liệu đã được sửa đổi hoặc làm rõ để hỗ trợ việc áp dụng.

Cập nhật quan trọng nhất từ ấn bản năm 2005 của tiêu chuẩn này là việc loại bỏ các quy trình liên quan đến việc phân loại phòng sạch theo các hạt trong không khí. Khi ISO 14644-1 được cập nhật và ban hành vào năm 2015, nó đã kết hợp các quy trình này.
Thuật ngữ Máy đếm hạt rời rạc (DPC) đã bị loại bỏ và thay thế bằng Máy đếm hạt không khí tán xạ ánh sáng (LSAPC). Đây là cùng một thiết bị, với cải thiện và căn chỉnh về định nghĩa.
Phụ lục B là phần lớn nhất của tiêu chuẩn này và có nhiều thay đổi nhất, với các mục kiểm tra được loại bỏ, sửa đổi và viết lại. Các tham chiếu phần điều khoản cho các thử nghiệm hỗ trợ cũng đã thay đổi. Bảng dưới đây cung cấp một tham chiếu chéo.

ISO 14644-3:2005 (bản cũ)		ISO 14644-3:2019 (hiện tại)
Tên quy trình kiểm tra	Mục tham chiếu	Tên quy trình kiểm tra	Mục tham chiếu
Đếm hạt trong không khí để phân loại phòng sạch	B.1	Loại bỏ ( chuyển sang ISO 14644-1:2015)
Đếm hạt trong không khí – hạt siêu mịn	B.2	Loại bỏ ( chuyển sang ISO 14644-1:2015)
Đếm hạt trong không khí – hạt kích thước lớn	B.3	Loại bỏ ( chuyển sang ISO 14644-1:2015)
Đo tốc độ / lưu lượng gió	B.4	Đo tốc độ / lưu lượng gió	B.2
Kiểm tra chênh áp không khí	B.5	Kiểm tra chênh áp không khí	B.1
Kiểm tra rò rỉ lọc	B.6	Kiểm tra rò rỉ hệ thống lọc	B.7
Kiểm tra trực quan hướng luồng khí	B.7	Kiểm tra trực quan hướng luồng khí	B.3
Nhiệt độ	B.8	Nhiệt độ	B.5
Độ ẩm	B.9	Độ ẩm	B.6
Hình thành tĩnh điện và ion	B.10	Hình thành tĩnh điện và ion	B.9
Lắng đọng hạt	B.11	Lắng đọng hạt	B.10
Kiểm tra độ phục hồi	B.12	Kiểm tra độ phục hồi	B.4
Ngăn chặn rò rỉ	B.13	Ngăn chặn rò rỉ	B.8
Chưa có		Kiểm tra phân tách	B.11

Kiểm tra độ phục hồi

Có thêm tỷ lệ phục hồi 10: 1 bên cạnh tỷ lệ 100: 1 hiện tại.
Sử dụng tỷ lệ 10: 1 rất hữu ích khi kiểm tra trong các khu vực ít được phân loại hơn như ISO 8 hoặc ISO 9, nơi có thể khó đạt được và đo lường nồng độ quá mức. (Tỷ lệ 100:1 không khuyến nghị áp dụng cho ISO 8 và 9, nhưng có thể áp dụng theo tỷ lệ 10:1).

Kiểm tra rò rỉ hệ thống lọc đã lắp đặt

Hình B.2 cũ đã bị xóa. (hình về các công thức tính toán khi đo kiểm HEPA leak test).

Nhiều phần đã được viết lại. Việc kiểm tra hiện có cùng tiêu chí chấp nhận (0,01%) đối với rò rỉ cho dù bạn sử dụng phương pháp quang kế hay máy đếm hạt tán xạ ánh sáng (LSAPC), vì vậy kết quả có thể so sánh trực tiếp.
Lựa chọn phương pháp LSAPC là cách tối ưu để hạn chế gây hại cho sản phẩm hoặc quá trình trong phòng sạch so với phương pháp quang kế khi khí dung gốc dầu thoát ra ngoài.
Thay đổi đáng kể khác có thể áp dụng cho cả hai phương pháp là tiêu chí chấp nhận rò rỉ được chỉ định này hiện có hai giới hạn tùy thuộc vào cấp bộ lọc đang được thử nghiệm. Mức thâm nhập tối đa cho phép là 0,01%. Tuy nhiên, đối với các bộ lọc có hiệu suất tích hợp (integral) với MPPS từ 99,95% đến 99,994%, thì mức thâm nhập tối đa cho phép là 0,1% (gấp 10 lần). Điều này có nghĩa là các bộ lọc HEPA loại H13 (EN1822-1) có thể được kiểm tra dựa trên tiêu chí 0,1%.
Các bộ lọc có hiệu suất dưới 99,95% thường không được kiểm tra, nhưng chúng có thể được sử dụng phương pháp này và sẽ yêu cầu các tiêu chí chấp nhận khác nhau.
Quy trình kiểm tra rò rỉ bộ lọc với LSAPC đã được viết lại. Phương pháp đo hai giai đoạn là: vẫn thực hiện quét ban đầu, sau đó là đo lại tại chỗ nghi ngờ khi phát hiện ra các rò rỉ tiềm ẩn.
Cả quy trình đo quang kế và quy trình LSAPC đều cho phép kích thước đầu dò là hình chữ nhật 1cm x 8cm hoặc hình tròn đường kính 3,6cm. Tốc độ quét phù hợp là 5cm / s.
Một thay đổi đáng kể khác là việc loại bỏ hệ số K khỏi các công thức đã được liên kết với độ thâm nhập tối đa cho phép của bộ lọc được thử nghiệm.
Đối với quy trình LSAPC, có một công thức để xác định nồng độ upstream cần thiết, dựa trên kích thước đầu dò, tốc độ quét, lưu lượng hút của thiết bị, độ thâm nhập tối đa và số lượng chấp nhận cho giai đoạn quét.

ISO 14644:3 bản 2005	ISO 14644:3 bản 2019
Công thức tính toán phức tạp.	Công thức được đơn giản hóa.
Hệ số K được sử dụng để cho phép so sánh giữa phương pháp photometer và DPC. Giới hạn được tinh toán bằng nhiều công thức và tham số theo hình B.2.	Cho kiểm tra trực tiếp bằng MPPS, cùng mức giới hạn chấp nhận 0.01%, nên loại bỏ hệ số K. Nên: – Giới hạn với H13: (99.994%≥MPPS≥99.95): 0.1% nồng độ upstream. – H14 và cao hơn: 0.01% nồng độ upstream
Chỉ được sử dụng probe hình chữ nhật.	Cho phép sử dụng thêm probe hình tròn.
Kích thước hạt trong khoảng 0.1 – 0.5 µm.	Kích thước hạt sử dụng ≥ 0.3 µm.