Hệ thống lắng đọng hạt tự động Auto-Load 20 nm Particle Deposition System 2300G3A

Hệ thống lắng đọng hạt tự động TSI 2300G3A (Model 2332) đại diện cho tiêu chuẩn vàng trong lĩnh vực đo lường và kiểm chuẩn wafer bán dẫn. Được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu khắt khe nhất của quy trình sản xuất hiện đại, hệ thống này cung cấp khả năng lắng đọng các chuẩn kích thước hạt (bao gồm chuẩn MSP NanoSilica™) trên các loại wafer trần (bare), wafer có màng mỏng (film) và wafer đã tạo mẫu (patterned) với độ chính xác tuyệt đối.

Với khả năng xử lý tự động hoàn toàn, Model 2300G3A không chỉ giúp tối ưu hóa năng suất mà còn đảm bảo tính nhất quán và khả năng truy xuất nguồn gốc theo hệ SI, hỗ trợ đắc lực cho việc hiệu chuẩn các thiết bị kiểm tra khuyết tật (defect inspection tools) trong các nhà máy FAB.

Công nghệ cốt lõi và Hiệu suất vượt trội

Sức mạnh của TSI 2300G3A nằm ở sự kết hợp hoàn hảo giữa công nghệ tạo hạt tiên tiến và Bộ phân tích tính linh động vi sai (DMA – Differential Mobility Analyzer). Công nghệ này cho phép:

• Kiểm soát đường kính phương thức (modal diameter) của các hạt được lắng đọng với độ lặp lại dưới nanomet (sub-nanometer repeatability).
• Phân loại kích thước hạt chính xác, loại bỏ các cụm hạt (clusters) và hạt dư thừa, đảm bảo phân bố kích thước hạt cực hẹp (narrow size distribution).
• Công nghệ nguyên tử hóa hạt nano (Nanoparticle atomization) cho phép tạo ra các hạt sạch xuống tới kích thước 20 nm.

Tính năng tự động hóa và Linh hoạt

Phiên bản Auto-Load 2300G3A được thiết kế để tối đa hóa hiệu quả vận hành trong môi trường công nghiệp:

• Xử lý Robot tự động: Hệ thống robot tích hợp cho phép xử lý lên đến 25 wafer trong một lệnh điều khiển (control job), tương thích với wafer 200mm và 300mm.
• Dung lượng chứa lớn: Carousel có khả năng chứa tới 16 chai huyền phù hạt (particle suspensions) khác nhau. Điều này cho phép người dùng tạo ra hầu như bất kỳ đường cong hiệu chuẩn nào chỉ bằng một công thức tự động duy nhất mà không cần thay thế thủ công.
• Tương thích AMHS: Có khả năng tích hợp với hệ thống vận chuyển vật liệu tự động của nhà máy (AMHS) thông qua máy chủ (Factory Host).

Các kiểu lắng đọng (Deposition Patterns) đa dạng

Hệ thống cung cấp sự linh hoạt tối đa trong việc tạo mẫu chuẩn trên bề mặt wafer để phục vụ nhiều mục đích kiểm tra khác nhau:

• Full (Blanket): Phủ toàn bộ bề mặt wafer.
• Spot: Lắng đọng theo điểm tại các vị trí cụ thể.
• Arc & Ring: Lắng đọng theo hình cung hoặc hình nhẫn tròn.

Người dùng có thể kiểm soát chính xác độ rộng của mẫu lắng đọng và kích thước hạt thông qua phần mềm điều khiển trực quan.

Ứng dụng trong công nghiệp bán dẫn

TSI 2300G3A là thiết bị không thể thiếu trong các quy trình quản lý chất lượng (Yield Management):

• Hiệu chuẩn hệ thống kiểm tra với khả năng truy xuất nguồn gốc (Traceable inspection system calibration).
• Tạo các chuẩn so sánh phù hợp với các chuẩn nhiễm bẩn wafer cũ (Matching legacy standards).
• Kiểm tra và đánh giá chất lượng wafer trần đầu vào (Incoming bare wafer inspection/qualification).
• Xác định độ nhạy kiểm tra đối với các màng mỏng độc quyền.
• Phát triển và đánh giá năng lực của các công cụ kiểm tra (Inspection tool development/qualification).
• Giám sát quy trình và đánh giá thiết bị xử lý (Process tool qualification).

Thông số kỹ thuật

Dưới đây là bảng thông số kỹ thuật chính thức của hệ thống Auto-Load 20 nm Particle Deposition System 2300G3A:

Lưu ý: Các thông số kích thước và trọng lượng chưa bao gồm tháp đèn tín hiệu hoặc bộ phận lọc khí EFEM tùy chọn.

Đối Tác Cung Cấp Thiết Bị Khoa Học Và Y Tế – Giải Pháp Phòng Sạch

🛒 Mua Sắm Thiết Bị Phòng Sạch & Y Tế Chất Lượng – Chính Hãng

Để sở hữu Thiết Bị Phòng Sạch & Y Tế chính hãng, đảm bảo chất lượng và được hỗ trợ kỹ thuật tối đa, Chúng Tôi là đối tác tin cậy của bạn. Chúng tôi cam kết:

• Cung cấp sản phẩm mới 100%, có chứng nhận CO/CQ rõ ràng.
• Tư vấn chuyên sâu về ứng dụng cân chuẩn nội trong các quy trình kiểm soát chất lượng.
• Giá thành cạnh tranh và dịch vụ bảo hành, bảo trì chuyên nghiệp.

Liên hệ với chúng tôi để nhận báo giá chi tiết và tư vấn kỹ thuật.

• 📱 Hotline/Zalo: 0983.570.067

• 🌐 Website: bmnmed.com

• 🌐 Website: cleanroomshopping.com

• 📧 Email: sales@bmnmed.com

🔍 Xem Thêm các Thiết bị Phòng Sạch Liên quan

Tăng cường hiệu quả công việc và độ chính xác:

• Cân phân tích: Cân chính xác 0.0001g, chống rung, hiệu chuẩn tự động, chuẩn GLP/GMP cho phòng lab. 
• Thiết bị phòng sạch: Tủ cấy, pass box, HEPA filter đạt ISO 5-8, kiểm soát nhiễm khuẩn tối ưu.
• Thiết bị phòng thí nghiệm: Tủ an toàn sinh học, ly tâm lạnh, tủ sấy – chuẩn châu Âu, bền, chính xác.
• Hệ thống thử nghiệm: Máy đo độ bền, kiểm tra môi trường theo ASTM/ISO, báo cáo tự động cho QC.
• Dịch vụ Hiệu Chuẩn thiết bị : Đảm bảo các thiết bị Khoa Học – Y Tế luôn đạt tiêu chuẩn quốc tế.