Phân loại phòng sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644-1:2015

Phân loại phòng sạch

Phân loại phòng sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644-1:2015

4 Phân loại

4.1 (Các) trạng thái

Cấp độ sạch của không khí theo nồng độ hạt của không khí trong phòng sạch hoặc vùng sạch phải được xác định trong một hoặc nhiều trong ba trạng thái cư trú, ví dụ. “Nguyên trạng”, “ở trạng thái nghỉ” hoặc “hoạt động” (xem 3.3).

4.2 (Các) kích thước hạt

Một hoặc nhiều kích thước hạt ngưỡng (giới hạn dưới) nằm trong phạm vi từ ≥0,1 μm đến ≥5 μm sẽ được sử dụng để xác định nồng độ hạt độ sạch của không khí để phân loại.

4.3 Số lớp ISO

Cấp độ sạch không khí theo nồng độ hạt phải được ký hiệu bằng số ISO, N. Nồng độ tối đa cho phép của các hạt đối với mỗi cỡ hạt được xem xét được xác định từ Bảng 1.

Nồng độ số lượng hạt đối với các kích thước ngưỡng khác nhau trong Bảng 1 không phản ánh sự phân bố số lượng và kích thước hạt thực tế trong không khí và chỉ dùng làm tiêu chí để phân loại. Các ví dụ về tính toán phân loại được nêu trong Phụ lục B.

 

 

Số lớp ISO

(N)

Nồng độ tối đa cho phép (hạt / m3) đối với các hạt bằng và lớn hơn các kích thước được xem xét, được hiển thị bên dưới a

0,1 µm

0,2 µm

0,3 µm

0,5 µm

1 µm

5 µm

1

10b

d

d

d

d

e

2

100

24b

10b

d

d

e

3

1 000

237

102

35b

d

e

4

10 000

2 370

1 020

352

83b

e

5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

d, e, f

6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

7

c

c

c

352 000

83 200

2 930

8

c

c

c

3 520 000

832 000

29 300

9g

c

c

c

35 200 000

8 320 000

293 000

 

a Tất cả các nồng độ trong bảng là tích lũy, ví dụ: đối với ISO Class 5, 10 200 hạt được hiển thị ở 0,3 μm bao gồm tất cả các hạt bằng và lớn hơn kích thước này.

b Các nồng độ này sẽ dẫn đến khối lượng mẫu không khí lớn để phân loại. Có thể áp dụng quy trình lấy mẫu tuần tự; xem Phụ lục D.

c Không áp dụng giới hạn nồng độ trong vùng này của bảng do nồng độ hạt rất cao.

d Các giới hạn về lấy mẫu và thống kê đối với các hạt ở nồng độ thấp làm cho việc phân loại không phù hợp.

e Các hạn chế về thu thập mẫu đối với cả các hạt ở nồng độ thấp và kích thước lớn hơn 1 μm làm cho việc phân loại ở kích thước hạt này không phù hợp, do khả năng thất thoát hạt trong hệ thống lấy mẫu.

f Để xác định kích thước hạt này phù hợp với ISO Class 5, bộ mô tả đại hạt M có thể được điều chỉnh và sử dụng cùng với ít nhất một kích thước hạt khác. (Xem C.7.)

g Lớp này chỉ áp dụng cho trạng thái đang hoạt động.