Quy trình lấy mẫu tiểu phân không khí để phân loại cấp độ sạch

Quy trình lấy mẫu tiểu phân không khí để phân loại cấp độ sạch

  1. Thiết lập bộ máy đếm tiểu phân quang học theo hướng dẫn của nhà sản xuất, bao gồm thực hiện kiểm tra số không (Zero Count – Cắm lọc Zero Count vào ống lấy mẫu của máy và tiến hành chạy chức năng đếm hạt). Nếu không đạt thì tiến hành chạy chức năng Purge trên máy rồi đếm Zero count lại. Nếu tiếp tục không đạt, máy cần vệ sịnh hệ thống thấu kính quang học và gương cầu
  2. Đầu dò lấy mẫu phải được định vị hướng vào luồng khí. Nếu hướng của luồng không khí được lấy mẫu không được kiểm soát hoặc có thể dự đoán được (ví dụ: luồng không khí không theo hướng), đầu vào của đầu dò lấy mẫu sẽ được hướng lên trên theo chiều dọc.
  3. Đảm bảo các điều kiện bình thường cho trạng thái lấy mẫu khí đã chọn được thiết lập trước khi lấy mẫu.
  4. Lấy mẫu thể tích không khí được xác định trong 4.4 –ISO 14644-1, ở mức tối thiểu, cho mỗi mẫu tại mỗi vị trí lấy mẫu.
  5. Nếu số lượng tiểu phân đếm được nằm ở ngoài khoảng chấp nhận được do sự cố bất thường đã được xác định, thì số liệu đó có thể được loại bỏ và ghi chú như vậy trong báo cáo thử nghiệm và một mẫu mới được lấy.
  6. Nếu số lượng tiểu phân đếm được nằm ở ngoài khoảng chấp nhận được do lỗi kỹ thuật của phòng sạch hoặc thiết bị, thì cần xác định nguyên nhân, thực hiện biện pháp khắc phục và kiểm tra lại vị trí lấy mẫu không thành công, các vị trí xung quanh ngay lập tức và bất kỳ vị trí khác bị ảnh hưởng. Sự lựa chọn sẽ được ghi lại rõ ràng và hợp lý

Trả lời

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *

Call Us